EFiT-TT, Eumetrys Film Thickness - TableTop

Soucieux de satisfaire les exigences des laboratoires, des instituts de recherche et de l’industrie du semi-conducteur à volume modéré, Eumetrys vous propose l’EFiT-TT. L’équipement d’interférométrie, de mesure d’épaisseur de couche, d’évaluation de cristallinité ou encore de densité, est un outil compact de faible coût qui répondra efficacement à un grand nombre d’applications sur plaque ou échantillon.

Eumetrys et Shashin Kagaku s’associent pour vous proposer ce produit de réflectométrie. La firme Shashin Kagaku est établie au Japon depuis 1868 et évolue dans le secteur des équipements de précision et de l’électronique. L’entreprise nippone est reconnue par ses clients pour sa fiabilité, son engagement et pour la qualité de ses instruments.

Eumetrys assure l’ensemble des services associés à l’EFiT-TT. Nous réalisons sur vos sites l’installation, les maintenances préventives et curatives ainsi que la formation personnalisée à l’utilisation de l’outil. L’association des deux firmes française et japonaise permet de combiner un produit efficient à la qualité de service, à l’expertise et à la réactivité d’Eumetrys.
 

 
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EFiT-TT, l’interféromètre compact

L’EFiT-TT est un équipement compact qui permet de mesurer l’épaisseur de couches et qui est extrêmement simple d’utilisation. Cet outil d’interférométrie se distingue par sa flexibilité et se destine aux laboratoires, aux instituts de recherche et à l’industrie du semiconducteur. Sa taille réduite permettra de sauvegarder de l’espace dans votre salle blanche et son faible coût n’entamera pas le budget que vous pourrez allouer à votre R&D, pourtant ses capacités couvriront tous vos besoins et applications sur plaque ou échantillon :

• Mesure d’épaisseur jusqu’à 9 couches à grande vitesse
  • Filtre passe-bande
  • Film composé multicouches
  • Tranchées
• Estimation de densité de motif submicronique utilisant la méthode EMA (Effective Medium Approximation)
• Evaluation locale de la cristallinité
• Mesure de la distribution d’épaisseur de films dans une région spécifique
• Evaluation de la densité sur des films poreux

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EFiT-TT, un réflectomètre accessible et performant

L’interféromètre EFiT-TT est un équipement de table pour tous les types d’échantillons et de plaques silicium. Sa résolution de 0,1 nm vous permettra d’analyser les couches les plus fines de vos substrats. La longueur d’onde de la source lumineuse est sélectionnable de 450nm à 750nm avec 1nm de précision ce qui accroit la polyvalence de l’outil. Par ailleurs, différents objectifs de microscope sont disponibles afin de satisfaire vos exigences et répondre à toutes vos applications. Les différents objectifs proposés sont 1x, 5x et 50x. En somme, l’EFiT-TT est capable d’analyser des structures simples comme complexes sur des substrats de différent type de matériaux et échantillons.

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